• IMG 1212 Small
  • Clean Room D.Farina  2018 IIT 11496
  • Clean Room D.Farina  2018 IIT 11484

La Clean Room Facility nasce con la precisa missione di supportare i ricercatori IIT nelle loro attività scientifiche, fornendo attrezzature all'avanguardia e una conoscenza approfondita delle tecniche di micro- e nano-fabbricazione.

I laboratori costituiscono una piattaforma interdisciplinare per tecnologie di fabbricazione avanzata, padroneggiando competenze uniche nella realizzazione top-down di dispositivi 3D non convenzionali. In particolare sono disponibili strumenti strategici per una ricerca di punta in ambiti che vanno dalla nanofotonica alla scienza dei materiali, e dalla biologia alla nanomedicina.

La struttura è dotata di ambienti ISO6 e ISO7 e gestisce attrezzature all'avanguardia per la fabbricazione top-down a livello nanometrico e micro-scala, deposizione fisica e chimica, lavorazione dry e wet, metrologia e caratterizzazione dei dispositivi realizzati. Substrati di piccole dimensioni ma anche wafer fino a 6 pollici possono essere routinariamente processati.

Gli utenti che desiderano accedere all'area devono frequentare un corso dedicato sulla sicurezza e una formazione pratica nelle tecniche di micro- e nano-fabbricazione.